Cypress Semiconductor STK16C88 Manuel d'utilisateur Page 48

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12.02.07
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Simtek Confidential
SONOS Technology
SONOS Memories (Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon)
Poly Gate
Blocking Oxide
Nitride Trapping Layer
Tunnel Oxide
SONOS Transistor
Charge is stored in nitride layer which acts like floating gate
Simple technology (topography, etching, ...)
Easy to integrate in base-line CMOS processes.
Direct tunneling (FN): lower program / erase voltages
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